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Ausschreibung: Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke - DE-Ilmenau
Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke
Oberflächenbehandlung
Dokument Nr...: 124149-2019 (ID: 2019031809142387024)
Veröffentlicht: 18.03.2019
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DE-Ilmenau: Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke
2019/S 54/2019 124149
Auftragsbekanntmachung
Lieferauftrag
Legal Basis:
Richtlinie 2014/24/EU
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
I.1)Name und Adressen
TU Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung
Max-Planck-Ring 14
Ilmenau
98693
Deutschland
Telefon: +49 3677-691744
E-Mail: [1]beschaffung@tu-ilmenau.de
Fax: +49 3677-691931
NUTS-Code: DEG0F
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: [2]http://www.tu-ilmenau.de
I.2)Informationen zur gemeinsamen Beschaffung
I.3)Kommunikation
Die Auftragsunterlagen stehen für einen uneingeschränkten und
vollständigen direkten Zugang gebührenfrei zur Verfügung unter:
[3]https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=245879
Weitere Auskünfte erteilen/erteilt die oben genannten Kontaktstellen
Angebote oder Teilnahmeanträge sind einzureichen elektronisch via:
[4]https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=245879
Angebote oder Teilnahmeanträge sind einzureichen an die oben genannten
Kontaktstellen
Im Rahmen der elektronischen Kommunikation ist die Verwendung von
Instrumenten und Vorrichtungen erforderlich, die nicht allgemein
verfügbar sind. Ein uneingeschränkter und vollständiger direkter Zugang
zu diesen Instrumenten und Vorrichtungen ist gebührenfrei möglich
unter:
[5]https://www.evergabe-online.de/start.html;jsessionid=BF449CCA7F84740
07861F7B2846EBCEC.app202?0
I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers
Einrichtung des öffentlichen Rechts
I.5)Haupttätigkeit(en)
Bildung
Abschnitt II: Gegenstand
II.1)Umfang der Beschaffung
II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:
Flexibel einsetzbare Atomlagen-Depositionssystem mit
Plasmaunterstützung (PEALD)
Referenznummer der Bekanntmachung: TU-044/19-201-ZMN
II.1.2)CPV-Code Hauptteil
42900000 - FG11
II.1.3)Art des Auftrags
Lieferauftrag
II.1.4)Kurze Beschreibung:
Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische
Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu
erweitern. Hierzu ist vorgesehen, ein flexibel einsetzbares
Atomlagen-Depositionssystem mit Plasmaunterstützung (PEALD) für die
atomlagengenaue Abscheidung dünner Filme von Metallen, Metall-Oxiden
und -Nitriden sowie optional Sulfiden definierter Stöchiometrie für
Anwendungen als Tunnelbarrieren oder Elektroden in memristiven und
kryoelektronischen Bauelementen, als Ferroelektrika und als
2D-Materialien sowie zur wissenschaftlichen Untersuchung der
Abscheidemechanismen und zur Prozessentwicklung zu beschaffen.
II.1.5)Geschätzter Gesamtwert
Wert ohne MwSt.: 575 000.00 EUR
II.1.6)Angaben zu den Losen
Aufteilung des Auftrags in Lose: nein
II.2)Beschreibung
II.2.1)Bezeichnung des Auftrags:
II.2.2)Weitere(r) CPV-Code(s)
44113810
II.2.3)Erfüllungsort
NUTS-Code: DEG0F
Hauptort der Ausführung:
TU-Ilmenau
II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:
Benötigt wird ein flexibel einsetzbares Atomlagen-Depositionssystem mit
Plasmaunterstützung (PEALD) für die atomlagengenaue Abscheidung dünner
Filme von Metallen, Metall-Oxiden und Nitriden sowie optional -Sulfiden
definierter Stöchiometrie für Anwendungen als Tunnelbarrieren oder
Elektroden in memristiven und kryoelektronischen Bauelementen, als
Ferroelektrika und als 2D-Materialien sowie zur wissenschaftlichen
Untersuchung der Abscheidemechanismen und zur Prozessentwicklung.
II.2.5)Zuschlagskriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium; alle Kriterien sind
nur in den Beschaffungsunterlagen aufgeführt
II.2.6)Geschätzter Wert
II.2.7)Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des
dynamischen Beschaffungssystems
Laufzeit in Monaten: 24
Dieser Auftrag kann verlängert werden: nein
II.2.9)Angabe zur Beschränkung der Zahl der Bewerber, die zur
Angebotsabgabe bzw. Teilnahme aufgefordert werden
Geplante Mindestzahl: 3
Höchstzahl: 5
Objektive Kriterien für die Auswahl der begrenzten Zahl von Bewerbern:
Zur Teilnahme berechtigt sind die maximal fünf Bewerber, die alle fünf
Mindestanforderungen erfüllen haben und die fünf höchsten gewichteten
und summierten Wertungen erhalten haben:
(W1) wirtschaftliche Gesamtsituation des Bieters - Absteigende
Bewertung der fünf umsatzstärksten Bewerber (5-1 Pkt.) 10 %,
(W2) Umsatz von Systemen zur Atomlagenabscheidung in
Forschungseinrichtungen in den letzten 3 Jahren Absteigende Bewertung
der 5 umsatzstärksten Bewerber (5-1 Pkt.) 25 %;
(W3) Mitarbeiter und deren Qualifikationsstruktur im Bereich R&D
Absteigende Bewertung der fünf R&D-stärksten Bewerber (5-1 Pkt.) 15 %;
(T1) Komplette Referenzen von vergleichbaren Leistungen und Geräten in
Europa, nicht älter als 3 Jahre Absteigende Bewertung der fünf
referenzstärksten Bewerber (5-1 Pkt.) 25 %,
(T2) aktuelle Mitarbeiterzahl und deren Qualifikationsstruktur im
Applikationslabor Absteigende Bewertung der fünf stärksten Bewerber
(5-1 Pkt.) 15 %,
(T3) nächstgelegener Servicestandort Absteigende Bewertung der
Entfernung zum Erfüllungsort (5-1 Pkt.) 10 %.
II.2.10)Angaben über Varianten/Alternativangebote
Varianten/Alternativangebote sind zulässig: nein
II.2.11)Angaben zu Optionen
Optionen: nein
II.2.12)Angaben zu elektronischen Katalogen
II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm,
das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein
II.2.14)Zusätzliche Angaben
Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische
Angaben
III.1)Teilnahmebedingungen
III.1.1)Befähigung zur Berufsausübung einschließlich Auflagen
hinsichtlich der Eintragung in einem Berufs- oder Handelsregister
Auflistung und kurze Beschreibung der Bedingungen:
Nachweis über die Befähigung zur Berufsausübung durch Abgabe der EEE
Teil IV Abschnitt A. (Siehe Abschnitt VI.3 dieser Bekanntmachung
zusätzliche Angaben: Link und Erläuterungen zum Dienst zum Ausfüllen
und Wiederverwenden der EEE). Die Nichterfüllung mindestens eines
dieser Mindestanforderungen gilt als Ausschlusskriterium.
III.1.2)Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:
Nachweis über die wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
durch Abgabe der EEE Teil IV Abschnitt B. (Siehe Abschnitt VI.3
dieser Bekanntmachung zusätzliche Angaben: Link und Erläuterungen zum
Dienst zum Ausfüllen und Wiederverwenden der EEE).
Möglicherweise geforderte Mindeststandards:
(W1) über die wirtschaftliche Gesamtsituation des Bieters;
(W2) den Umsatz von Systemen zur Atomlagenabscheidung in
Forschungseinrichtungen in den letzten 3 Jahren sowie;
(W3) die aktuelle Mitarbeiterzahl und deren Qualifikationsstruktur im
Bereich R&D für Atomlagenabscheidungssysteme.
III.1.3)Technische und berufliche Leistungsfähigkeit
Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:
Nachweis über die technische und berufliche Leistungsfähigkeit durch
Abgabe der EEE Teil IV Abschnitt Cund D (Hinweis: bezogen auf die
letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahre). (Siehe Abschnitt VI.3 dieser
Bekanntmachung zusätzliche Angaben: Link und Erläuterungen zum Dienst
zumAusfüllen und Wiederverwenden der EEE).
Möglicherweise geforderte Mindeststandards:
(M4) Der Bewerber muss mindestens eine Referenzinstallation eines
Systems zur Atomlagenabscheidung mit Plasmaunterstützung in einer
Forschungseinrichtung vorweisen können;
(M5) Vorhandensein eines eigenen Applikationslabors zur
Atomlagenabscheidung.
Bewertungskriterien:
(T1) Komplette Referenzen von vergleichbaren Leistungen und Geräten in
Europa, nicht älter als 3 Jahre;
(T2) die aktuelle Mitarbeiterzahl und deren Qualifikationsstruktur im
Applikationslabor sowie;
(T3) nächstgelegener Servicestandort zum Erfüllungsort.
III.1.5)Angaben zu vorbehaltenen Aufträgen
III.2)Bedingungen für den Auftrag
III.2.2)Bedingungen für die Ausführung des Auftrags:
III.2.3)Für die Ausführung des Auftrags verantwortliches Personal
Abschnitt IV: Verfahren
IV.1)Beschreibung
IV.1.1)Verfahrensart
Wettbewerblicher Dialog
IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen
Beschaffungssystem
IV.1.4)Angaben zur Verringerung der Zahl der Wirtschaftsteilnehmer oder
Lösungen im Laufe der Verhandlung bzw. des Dialogs
Abwicklung des Verfahrens in aufeinander folgenden Phasen zwecks
schrittweiser Verringerung der Zahl der zu erörternden Lösungen bzw. zu
verhandelnden Angebote
IV.1.6)Angaben zur elektronischen Auktion
IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja
IV.2)Verwaltungsangaben
IV.2.1)Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren
IV.2.2)Schlusstermin für den Eingang der Angebote oder Teilnahmeanträge
Tag: 18/04/2019
Ortszeit: 11:00
IV.2.3)Voraussichtlicher Tag der Absendung der Aufforderungen zur
Angebotsabgabe bzw. zur Teilnahme an ausgewählte Bewerber
Tag: 13/05/2019
IV.2.4)Sprache(n), in der (denen) Angebote oder Teilnahmeanträge
eingereicht werden können:
Deutsch
IV.2.6)Bindefrist des Angebots
IV.2.7)Bedingungen für die Öffnung der Angebote
Abschnitt VI: Weitere Angaben
VI.1)Angaben zur Wiederkehr des Auftrags
Dies ist ein wiederkehrender Auftrag: nein
VI.2)Angaben zu elektronischen Arbeitsabläufen
Aufträge werden elektronisch erteilt
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Die Zahlung erfolgt elektronisch
VI.3)Zusätzliche Angaben:
Hinweis zum Ausfüllen der EEE: Dienst zum Ausfüllen und Wiederverwenden
der EEE unter dem Link: Dazu Ich bin ein Wirtschaftsteilnehmer
[6]https://ec.europa.eu anklicken und dann die Option eine Antwort
erstellen /tools/espd/filter?lang=de. anklicken. Dann kann die EEE
ausgefüllt und im gleichen Format (xml) sowie als PDFDatei exportiert/
gespeichert werden. Zum Teilnahmewettbewerb (Erster Teil des
Vergabeverfahrens): Der Teilnahmewettbewerb dient zur Ermittlung der
Eignung der Bewerber. Es werden im zweiten Teil des Vergabeverfahrens
(Angebotsverfahren) nur Bewerber mit festgestellter Eignung zugelassen.
Wird mindestens eine der Mindestanforderungen nicht erfüllt, liegt
keine Eignung vor. Entsprechend Abschnitt II 2.9 wird aus den
geeigneten Bewerbern unter Berücksichtigung der Bewertungsgewichtung
eine Auswahl von maximal 5 Bewerbern herbeiführen. Zum
Angebotsverfahren (Zweiter Teil des Vergabeverfahrens): In einer ersten
Phase werden die ausgewählten maximal 5 Bewerber zur Erstellung
Lösungskonzeptes und eines ersten verbindlichen Angebots aufgefordert.
Diese Angebote sind Grundlage der nächsten Phasen mit
Verhandlungsrunden mit maximal 3 Bietern. Im Bedarfsfall können
Prozesstests zur Bewertung von Lösungskonzepten vorgesehen werden. In
diesen Phasen kann nach Bewertung der vorgelegten Lösungskonzepte und
Testergebnisse eine weitere Reduzierung der Teilnehmerzahl erfolgen.
Letztlich werden die im Verfahren verbleibenden Bieter final um ein
Angebot gebeten, bevor die Vergabe mit der Auftragserteilung an den
Bestbieter abgeschlossen wird. Die Ausschluss- und Bewertungskriterien
werden mit den jeweiligen Aufforderungen zur Angebotserstellung bzw.
Prozesstest mitgeteilt.
VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren
VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
Vergabekammer beim Thüringer Landesverwaltungsamt
Weimar Platz 4
Weimar
99423
Deutschland
Telefon: +49 361-37700
VI.4.2)Zuständige Stelle für Schlichtungsverfahren
VI.4.3)Einlegung von Rechtsbehelfen
Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen:
Entsprechend der Regelungen gemäß § 160 GWB.
VI.4.4)Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen
erteilt
TU Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung
Max-Planck-Ring 14
Ilmenau
98693
Deutschland
Telefon: +49 3677-691744
E-Mail: [7]beschaffung@tu-ilmenau.de
Fax: +49 3677-691931
Internet-Adresse: [8]http://www.tu-ilmenau.de
VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:
13/03/2019
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1. mailto:beschaffung@tu-ilmenau.de?subject=TED
2. http://www.tu-ilmenau.de/
3. https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=245879
4. https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=245879
5. https://www.evergabe-online.de/start.html;jsessionid=BF449CCA7F8474007861F7B2846EBCEC.app202?0
6. https://ec.europa.eu/
7. mailto:beschaffung@tu-ilmenau.de?subject=TED
8. http://www.tu-ilmenau.de/
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