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Öffentliche Ausschreibungen

Titel : DEU-Jena - Deutschland Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) WDH - Maskless Aligner
Dokument-Nr. ( ID / ND ) : 2024042301251626546 / 239558-2024
Veröffentlicht :
23.04.2024
Anforderung der Unterlagen bis :
22.05.2024
Angebotsabgabe bis :
28.05.2024
Dokumententyp : Ausschreibung
Produkt-Codes :
38000000 - Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
DEU-Jena: Deutschland Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte
(außer Gläser) WDH - Maskless Aligner

2024/S 80/2024 239558

Deutschland Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) WDH -
Maskless Aligner
OJ S 80/2024 23/04/2024
Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung Standardregelung
Lieferungen

1. Beschaffer

1.1. Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.
Rechtsform des Erwerbers:
Organisation, die einen durch einen öffentlichen Auftraggeber subventionierten Auftrag vergibt
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung

2. Verfahren

2.1. Verfahren
Titel: WDH - Maskless Aligner
Beschreibung: Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die
Photolithographie einen Maskless Aligner aus, welcher zur maskenlosen Belichtung von
Photoresistschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchip bis zum 150 mm Wafer
eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind Strukturauflösungen
bis 600 nm Linienbreite (CD) im Resist, präzise Mehrebenen-Justage mit bis zu 250 nm
Überdeckungsgenauigkeit und Schreibgeschwindigkeiten, die Belichtungsanzahlen von mind.
1000 Wafer pro Jahr ermöglichen.
Kennung des Verfahrens: aaa004ff-047e-4efd-9eb7-16a7d89c2d13
Interne Kennung: 04.24.O.00.wdh
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein

2.1.1. Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000
Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

2.1.2. Erfüllungsort
Stadt: Jena
Postleitzahl: 07745
Land, Gliederung (NUTS): Jena, Kreisfreie Stadt (DEG03)
Land: Deutschland
Ort im betreffenden Land

2.1.3. Wert
Geschätzter Wert ohne MwSt.: 457 300,00 EUR

2.1.4. Allgemeine Informationen
Zusätzliche Informationen: Bekanntmachungs-ID: CXP4YBRHA8N
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU

vgv -

2.1.6. Ausschlussgründe:
Der Zahlungsunfähigkeit vergleichbare Lage gemäß nationaler Rechtsvorschriften: Zwingende
bzw. fakultative Ausschlussgründe nach §§ 123 bis 126 GWB
Konkurs: Zwingende bzw. fakultative Ausschlussgründe nach §§ 123 bis 126 GWB
Korruption: Zwingende bzw. fakultative Ausschlussgründe nach §§ 123 bis 126 GWB
Vergleichsverfahren: Zwingende bzw. fakultative Ausschlussgründe nach §§ 123 bis 126 GWB
Beteiligung an einer kriminellen Vereinigung: Zwingende bzw. fakultative Ausschlussgründe
nach §§ 123 bis 126 GWB
Vereinbarungen mit anderen Wirtschaftsteilnehmern zur Verzerrung des Wettbewerbs:
Zwingende bzw. fakultative Ausschlussgründe nach §§ 123 bis 126 GWB
Verstoß gegen umweltrechtliche Verpflichtungen: Zwingende bzw. fakultative
Ausschlussgründe nach §§ 123 bis 126 GWB
Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung: Zwingende bzw. fakultative Ausschlussgründe
nach §§ 123 bis 126 GWB
Betrugsbekämpfung: Zwingende bzw. fakultative Ausschlussgründe nach §§ 123 bis 126 GWB
Kinderarbeit und andere Formen des Menschenhandels: Zwingende bzw. fakultative
Ausschlussgründe nach §§ 123 bis 126 GWB
Zahlungsunfähigkeit: Zwingende bzw. fakultative Ausschlussgründe nach §§ 123 bis 126 GWB
Verstoß gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen: Zwingende bzw. fakultative
Ausschlussgründe nach §§ 123 bis 126 GWB
Verwaltung der Vermögenswerte durch einen Insolvenzverwalter: Zwingende bzw. fakultative
Ausschlussgründe nach §§ 123 bis 126 GWB
Falsche Angaben, verweigerte Informationen, die nicht in der Lage sind, die erforderlichen
Unterlagen vorzulegen, und haben vertrauliche Informationen über dieses Verfahren erhalten.:
Zwingende bzw. fakultative Ausschlussgründe nach §§ 123 bis 126 GWB
Interessenkonflikt aufgrund seiner Teilnahme an dem Vergabeverfahren: Zwingende bzw.
fakultative Ausschlussgründe nach §§ 123 bis 126 GWB
Direkte oder indirekte Beteiligung an der Vorbereitung des Vergabeverfahrens: Zwingende
bzw. fakultative Ausschlussgründe nach §§ 123 bis 126 GWB
Schwere Verfehlung im Rahmen der beruflichen Tätigkeit: Zwingende bzw. fakultative
Ausschlussgründe nach §§ 123 bis 126 GWB
Vorzeitige Beendigung, Schadensersatz oder andere vergleichbare Sanktionen: Zwingende
bzw. fakultative Ausschlussgründe nach §§ 123 bis 126 GWB
Verstoß gegen sozialrechtliche Verpflichtungen: Zwingende bzw. fakultative
Ausschlussgründe nach §§ 123 bis 126 GWB
Zahlung der Sozialversicherungsbeiträge: Zwingende bzw. fakultative Ausschlussgründe nach
§§ 123 bis 126 GWB
Einstellung der gewerblichen Tätigkeit: Zwingende bzw. fakultative Ausschlussgründe nach §§
123 bis 126 GWB
Entrichtung von Steuern: Zwingende bzw. fakultative Ausschlussgründe nach §§ 123 bis 126
GWB
Terroristische Straftaten oder Straftaten im Zusammenhang mit terroristischen Aktivitäten:
Zwingende bzw. fakultative Ausschlussgründe nach §§ 123 bis 126 GWB

5. Los

5.1. Los: LOT-0001
Titel: WDH - Maskless Aligner

Beschreibung: Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die
Photolithographie einen Maskless Aligner aus, welcher zur maskenlosen Belichtung von
Photoresistschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchip bis zum 150 mm Wafer
eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind Strukturauflösungen
bis 600 nm Linienbreite (CD) im Resist, präzise Mehrebenen-Justage mit bis zu 250 nm
Überdeckungsgenauigkeit und Schreibgeschwindigkeiten, die Belichtungsanzahlen von mind.
1000 Wafer pro Jahr ermöglichen.
Interne Kennung: 04.24.O.00.wdh

5.1.1. Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000
Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

5.1.2. Erfüllungsort
Stadt: Jena
Postleitzahl: 07745
Land, Gliederung (NUTS): Jena, Kreisfreie Stadt (DEG03)
Land: Deutschland
Ort im betreffenden Land

5.1.6. Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Zusätzliche Informationen: Als Budget steht ein maximaler Betrag in Höhe von 457.300,00
Euro netto zur Verfügung.

5.1.7. Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung

5.1.9. Eignungskriterien
Kriterium:
Art: Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Bezeichnung: Eigenerklärung

5.1.10. Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Preis
Bezeichnung: Preis
Gewichtung (Prozentanteil, genau): 40

Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: technische Spezifikationen
Gewichtung (Prozentanteil, genau): 60

5.1.11. Auftragsunterlagen
Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sind:
Frist für die Anforderung zusätzlicher Informationen: 22/05/2024 00:00:00 (UTC+2)
Internetadresse der Auftragsunterlagen: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YBRHA8N
/documents
Ad-hoc-Kommunikationskanal:

URL: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YBRHA8N

5.1.12. Bedingungen für die Auftragsvergabe
Bedingungen für die Einreichung:
Elektronische Einreichung: Erforderlich
Adresse für die Einreichung: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YBRHA8N
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch
Elektronischer Katalog: Nicht zulässig
Varianten: Nicht zulässig
Frist für den Eingang der Angebote: 28/05/2024 13:00:00 (UTC+2)
Frist, bis zu der das Angebot gültig sein muss: 40 $name_timeperiod.DAYS_deu
Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können:
Nach Ermessen des Käufers können einige fehlenden Bieterunterlagen nach Fristablauf
nachgereicht werden.
Zusätzliche Informationen: s.o.
Informationen über die öffentliche Angebotsöffnung:
Eröffnungsdatum: 28/05/2024 13:15:00 (UTC+2)
Auftragsbedingungen:
Bedingungen für die Ausführung des Auftrags: - Besondere Vertragsbedingungen für
Lieferleistungen des Leibniz- IPHT Jena - Eigenerklärung gem. ThürVgG
Elektronische Rechnungsstellung: Erforderlich
Aufträge werden elektronisch erteilt: nein
Zahlungen werden elektronisch geleistet: nein
Finanzielle Vereinbarung: Anzahlungsrechnungen ausschließlich gegen Bankbürgschaft

5.1.15. Techniken
Rahmenvereinbarung: Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem

5.1.16. Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Vergabekammer Thüringen
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Leibniz-
Institut für Photonische Technologien e.V.

8. Organisationen

8.1. ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.
Registrierungsnummer: DE151282932
Stadt: Jena
Postleitzahl: 07745
Land, Gliederung (NUTS): Jena, Kreisfreie Stadt (DEG03)
Land: Deutschland
E-Mail: saskia.bach@leibniz-ipht.de
Telefon: 03641206556
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt

8.1. ORG-0002
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer Thüringen
Registrierungsnummer: Land Thüringen
Stadt: Weimar
Postleitzahl: 99423
Land, Gliederung (NUTS): Weimar, Kreisfreie Stadt (DEG05)
Land: Deutschland
E-Mail: vergabekammer@tlvwa.thueringen.de
Telefon: 0361573321059
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle

8.1. ORG-0003
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des
Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
E-Mail: noreply.esender_hub@bescha.bund.de
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender

11. Informationen zur Bekanntmachung

11.1. Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: 9098450e-0d94-4c7d-b83c-6b389c04fe46 - 01
Formulartyp: Wettbewerb
Art der Bekanntmachung: Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung Standardregelung
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 22/04/2024 09:34:40 (UTC+2)
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch

11.2. Informationen zur Veröffentlichung
ABl. S Nummer der Ausgabe: 80/2024
Datum der Veröffentlichung: 23/04/2024

Referenzen:
https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YBRHA8N
https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YBRHA8N/documents
http://icc-hofmann.net/NewsTicker/202404/ausschreibung-239558-2024-DEU.txt

 
 
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