Titel :
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DEU-Hannover - Deutschland Industrielle Maschinen Lieferung, Montage, Inbetriebnahme und Einweisung eines Multifunktionalen Hochleistungs-Ionenstrahlätz- und -beschichtungssystems
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Dokument-Nr. ( ID / ND ) :
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2025071500414187111 / 460152-2025
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Veröffentlicht :
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15.07.2025
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Anforderung der Unterlagen bis :
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07.08.2025
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Angebotsabgabe bis :
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14.08.2025
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Dokumententyp :
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Ausschreibung
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Produkt-Codes :
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42000000 - Industrielle Maschinen
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DEU-Hannover: Deutschland Industrielle Maschinen Lieferung, Montage,
Inbetriebnahme und Einweisung eines Multifunktionalen
Hochleistungs-Ionenstrahlätz- und -beschichtungssystems
2025/S 133/2025 460152
Deutschland Industrielle Maschinen Lieferung, Montage, Inbetriebnahme und Einweisung
eines Multifunktionalen Hochleistungs-Ionenstrahlätz- und -beschichtungssystems
OJ S 133/2025 15/07/2025
Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung Standardregelung
Lieferungen
1. Beschaffer
1.1. Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Leibniz Universität Hannover
E-Mail: vergabe@zuv.uni-hannover.de
Rechtsform des Erwerbers: Von einer regionalen Gebietskörperschaft kontrollierte Einrichtung
des öffentlichen Rechts
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung
2. Verfahren
2.1. Verfahren
Titel: Lieferung, Montage, Inbetriebnahme und Einweisung eines Multifunktionalen
Hochleistungs-Ionenstrahlätz- und -beschichtungssystems
Beschreibung: Die Leibniz Universität Hannover, das Institut für Mikroproduktionstechnik,
beabsichtigt den Erwerb eines multifunktionales Ionenstrahlsystem, das sowohl (reaktive)
Ionenstrahlätzvorgänge ((R)IBE - (Reactive) Ion Beam Etching) als auch (reaktive)
Ionenstrahlbeschichtungsvorgänge ((R)IBS - (Reactive) Ion Beam Sputtering) erlaubt. Zur
Planarisierung vorangegangener Beschichtungen soll das Ion Beam Figuring/Trimming (IBF
/IBT) eingesetzt werden können.
Kennung des Verfahrens: 16e46533-bab0-4606-86b1-97e20c44999e
Interne Kennung: 51.31 - 2025 - 23
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein
2.1.1. Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 42000000 Industrielle Maschinen
2.1.2. Erfüllungsort
Postanschrift: An der Universität 2
Stadt: Garbsen
Postleitzahl: 30823
Land, Gliederung (NUTS): Region Hannover (DE929)
Land: Deutschland
2.1.4. Allgemeine Informationen
Zusätzliche Informationen: Bekanntmachungs-ID: CXP4YHE5UX2
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
2.1.6. Ausschlussgründe
Quellen der Ausschlussgründe: Bekanntmachung, Auftragsunterlagen
Verstoß gegen die in den rein innerstaatlichen Ausschlussgründen verankerten
Verpflichtungen:
Beteiligung an einer kriminellen Vereinigung:
Terroristische Straftaten oder Straftaten im Zusammenhang mit terroristischen Aktivitäten:
Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung:
Betrug:
Korruption:
Kinderarbeit und andere Formen des Menschenhandels:
Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Steuern:
Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Sozialversicherungsbeiträgen:
Verstoß gegen umweltrechtliche Verpflichtungen:
Verstoß gegen sozialrechtliche Verpflichtungen:
Verstoß gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen:
Zahlungsunfähigkeit:
Verwaltung der Vermögenswerte durch einen Insolvenzverwalter:
Einstellung der gewerblichen Tätigkeit:
Der Zahlungsunfähigkeit vergleichbare Lage gemäß nationaler Rechtsvorschriften:
Schwerwiegendes berufliches Fehlverhalten:
Vereinbarungen mit anderen Wirtschaftsteilnehmern zur Verzerrung des Wettbewerbs:
Interessenkonflikt aufgrund seiner Teilnahme an dem Vergabeverfahren:
Direkte oder indirekte Beteiligung an der Vorbereitung des Vergabeverfahrens:
Vorzeitige Beendigung, Schadensersatz oder andere vergleichbare Sanktionen:
Falsche Angaben, verweigerte Informationen, die nicht in der Lage sind, die erforderlichen
Unterlagen vorzulegen, und haben vertrauliche Informationen über dieses Verfahren erhalten.:
5. Los
5.1. Los: LOT-0001
Titel: Lieferung, Montage, Inbetriebnahme und Einweisung eines Multifunktionalen
Hochleistungs-Ionenstrahlätz- und -beschichtungssystems
Beschreibung: Geliefert werden soll ein multifunktionales Ionenstrahlsystem, das sowohl
(reaktive) Ionenstrahlätzvorgänge ((R)IBE - (Reactive) Ion Beam Etching) als auch (reaktive)
Ionenstrahlbeschichtungsvorgänge ((R)IBS - (Reactive) Ion Beam Sputtering) erlaubt. Zur
Planarisierung vorangegangener Beschichtungen soll das Ion Beam Figuring/Trimming (IBF
/IBT) eingesetzt werden können. Die Kombination einer großen Primärionenquelle und der
Sekundärionenquelle soll zudem das duale Ionenstrahlsputtern (DIBS) mit höchster
Homogenität ermöglichen. Hierzu müssen beide Quellen gleichzeitig eingesetzt werden
können. Zusammen mit der Defektfreiheit, Reinheit und dem einstellbaren Brechungsindex
durch den Einsatz von Zonentargets lassen sich so optimal glatte und dichte Schichten mit
höchster optischer Qualität erzeugen, wie es mit keinem anderen Verfahren möglich ist. Die
Zonentargets erlauben zudem die Herstellung alternierender Schichtsysteme mit
kontinuierlichen Übergängen, sodass Rugate Filter hergestellt werden können. Die
physikalische Schichtdicke wird dabei hochpräzise mithilfe von Schwingquarzen und die
optische Schichtdicke mithilfe eines optischen Breitband-Monitorings überwacht, mit dessen
Hilfe eine rezeptorientierte, vollautomatische Prozesskontrolle vorliegt. Dabei ist ein
automatischer Targetwechsel für mindestens 4 Targetmaterialien in Echtzeit möglich. Die
Schleusenkammer ermöglicht kurze Abpumpzeiten und die komplementären Prozesse können
flexibel aufeinanderfolgend ohne Vakuumbruch mit geringster Partikelkontamination
eingesetzt werden. Dies erleichtert bspw. die Oberflächenvorbehandlung zur Erreichung
maximaler Schichthaftung. Sensorische und optische Komponenten sollen so defektfrei und
mit hoher Ausbeute und Reproduzierbarkeit hergestellt werden können. Die Anlage soll in
einem Reinraum ISO Klasse 5 aufgestellt werden und muss entsprechend kompatibel sein.
Bei der Ermittlung des wirtschaftlich günstigsten Angebots werden nachstehende Kriterien
angewendet. Mit dem Buchstaben A werden Ausschlusskriterien gekennzeichnet. Die
Nichterfüllung einer als Ausschlusskriterium gekennzeichneten Anforderung führt zum
Ausschluss des Angebotes (KO-Kriterium). Mit dem Buchstaben B werden
Bewertungskriterien gekennzeichnet. Die mit einem B gekennzeichneten Anforderungen
stellen die innerhalb der Bewertungsskala mit Punkten zu bewertenden Kriterien dar und
erhalten eine Gewichtung. Wenn aufgelistet, werden für jedes Bewertungskriterium 0 bis 10
Punkte vergeben, die mit dem angegebenen Gewichtungsfaktor in die Endpunktzahl
eingehen. Das Feld Pflichtangaben ist vollständig auszufüllen. Wenn Felder ja/nein
enthalten, ist hier die Angabe anzukreuzen, die angeboten wird. Preisangaben sind bitte
Brutto anzugeben (inkl. MwSt.). Weitere Informationen zu den Anforderungen sowie
Zuschlags-und Bewertungskriterien entnehmen Sie bitte dem beigefügten
Leistungsverzeichnis. Eventuelle Fragen zum Leistungsverzeichnis bitte ich über das
Vergabeportal zu stellen. Eventuelle Abweichungen vom Leistungsverzeichnis sind kenntlich
zu machen, bzw. gesondert darzustellen.
Interne Kennung: 51.31 - 2025 - 23
5.1.1. Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 42000000 Industrielle Maschinen
5.1.2. Erfüllungsort
Postanschrift: An der Universität 2
Stadt: Garbsen
Postleitzahl: 30823
Land, Gliederung (NUTS): Region Hannover (DE929)
Land: Deutschland
5.1.3. Geschätzte Dauer
Andere Laufzeit: Unbegrenzt
5.1.6. Allgemeine Informationen
Vorbehaltene Teilnahme: Teilnahme ist nicht vorbehalten.
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: nein
Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignet: nein
5.1.7. Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.9. Eignungskriterien
Quellen der Auswahlkriterien: Bekanntmachung
Kriterium: Maßnahmen zur Sicherstellung der Qualität
Beschreibung: Bitte beachten Sie die im Anschreiben angegebenen einzureichenden
Unterlagen.
5.1.10. Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Preis
Bezeichnung: günstigster Preis
Beschreibung: Preis: Als maßgeblich wird der Gesamtpreis des Angebots, einschließlich aller
Transport-, Ausstattungs-, Support- und Gewährleistungsoptionen gesehen. Laufende Kosten
beispielsweise aus Dienstleistungen zu Support- und Gewährleistungsoptionen sind
unzulässig bzw. sind im Zusammenhang mit dem Lieferauftrag im Vornhinein zu
kontingentieren.
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Punkte, genau)
Zuschlagskriterium Zahl: 25,00
5.1.11. Auftragsunterlagen
Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sind: Deutsch
Frist für die Anforderung zusätzlicher Informationen: 07/08/2025 23:59:59 (UTC+2)
Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Internetadresse der Auftragsunterlagen: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YHE5UX2
/documents
Ad-hoc-Kommunikationskanal:
URL: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YHE5UX2
5.1.12. Bedingungen für die Auftragsvergabe
Bedingungen für die Einreichung:
Elektronische Einreichung: Erforderlich
Adresse für die Einreichung: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YHE5UX2
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch
Elektronischer Katalog: Zulässig
Varianten: Zulässig
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen: Nicht zulässig
Frist für den Eingang der Angebote: 14/08/2025 10:00:00 (UTC+2) Osteuropäische Zeit,
Mitteleuropäische Sommerzeit
Frist, bis zu der das Angebot gültig sein muss: 11 092 025 Monate
Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können:
Nach Ermessen des Käufers können einige fehlenden Bieterunterlagen nach Fristablauf
nachgereicht werden.
Zusätzliche Informationen: Es dürfen keine wesentlichen Angebotsbestandteile nachgereicht
werden, die zur Wertung des Angebots erforderlich sind (z.B. Preise oder Leistungen, die den
Angebotsinhalt grundlegend verändern können).
Informationen über die öffentliche Angebotsöffnung:
Eröffnungsdatum: 14/08/2025 10:00:00 (UTC+2) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische
Sommerzeit
Auftragsbedingungen:
Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte
Beschäftigungsverhältnisse erfolgen: Nein
Bedingungen für die Ausführung des Auftrags: Als maßgeblich und verbindlich wird der
zugesicherte Liefertermin an den Hauptlieferort ab möglicher Auftragserteilung gesehen.
Berücksichtigt werden nur Angebote, deren Liefertermin am oder vor dem 01.06.2026 liegt.
Das Angebot mit dem frühesten Liefertermin erhält die volle Punktzahl. Bitte beachten Sie den
vorgegebenen Höchstpreis von 1.300.000,00 EUR brutto inklusive aller Nebenkosten.
Elektronische Rechnungsstellung: Nicht zulässig
Aufträge werden elektronisch erteilt: ja
Zahlungen werden elektronisch geleistet: nein
Finanzielle Vereinbarung: Sollten Anzahlungen gewünscht bzw. vereinbart werden, so sind
diese nur gegen eine für den Auftraggeber kostenlose Bankbürgschaft möglich.
5.1.15. Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
Elektronische Auktion: nein
5.1.16. Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Vergabekammer Niedersachsen beim Nds. Ministerium für Wirtschaft,
Verkehr, Bauen und Digitalisierung
Informationen über die Überprüfungsfristen: Gem. § 160 Abs. 3 Satz 1 GWB ist ein Antrag auf
Durchführung eines Nachprüfungsverfahrens unzulässig soweit: 1) Der Antragsteller den
geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des
Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von
10 Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Absatz 2 bleibt unberührt; 2)
Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht
spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder
zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden; 3) Verstöße gegen
Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis
zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber
gerügt werden; 4) Mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers,
einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind.
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Leibniz
Universität Hannover
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt: Leibniz Universität Hannover
8. Organisationen
8.1. ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Leibniz Universität Hannover
Registrierungsnummer: DE811245527
Postanschrift: Welfengarten 1
Stadt: Hannover
Postleitzahl: 30167
Land, Gliederung (NUTS): Region Hannover (DE929)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Einkauf
E-Mail: vergabe@zuv.uni-hannover.de
Telefon: +49 5117625457
Internetadresse: https://www.uni-hannover.de/de/
Profil des Erwerbers: https://www.uni-hannover.de/de/
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Zentrale Beschaffungsstelle, die öffentliche Aufträge oder Rahmenvereinbarungen im
Zusammenhang mit für andere Beschaffer bestimmten Bauleistungen, Lieferungen oder
Dienstleistungen vergibt/abschließt
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt
8.1. ORG-0002
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer Niedersachsen beim Nds. Ministerium für Wirtschaft,
Verkehr, Bauen und Digitalisierung
Registrierungsnummer: t:04131153308
Postanschrift: Auf der Hude 2
Stadt: Lüneburg
Postleitzahl: 21339
Land, Gliederung (NUTS): Lüneburg, Landkreis (DE935)
Land: Deutschland
E-Mail: vergabekammer@mw.niedersachsen.de
Telefon: +49 413115-3308
Fax: +49 413115-2943
Internetadresse: https://www.mw.niedersachsen.de/startse
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1. ORG-0003
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des
Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
E-Mail: noreply.esender_hub@bescha.bund.de
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: ed84291f-1523-496e-8b01-92cad9cb6faa - 01
Formulartyp: Wettbewerb
Art der Bekanntmachung: Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 16
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 14/07/2025 10:11:11 (UTC+2) Osteuropäische
Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
ABl. S Nummer der Ausgabe: 133/2025
Datum der Veröffentlichung: 15/07/2025
Referenzen:
https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YHE5UX2
https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YHE5UX2/documents
https://www.mw.niedersachsen.de/startse
https://www.uni-hannover.de/de/
http://icc-hofmann.net/NewsTicker/202507/ausschreibung-460152-2025-DEU.txt
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